據清代弘讚所集供諸天科儀(卍續一二九·一二一上)：『供天一法本出金光明經，修懺時，設供三寶、諸天。』佛教徒雖不歸依諸天，然禮敬諸天，此因諸天歸命佛，且奉行正法，修諸善業，不作惡業之故。據金光明經載，諸天於金光明會上，一一於佛前發菩提心，並親承如來法敕，常祐護受持、讀誦、書寫金光明經者。因諸天秉持法王囑累，巡行人間，以慈心輔翼有德，獎善罰惡，世人乃營建此供佛齋天之法會，誦經禮懺，施設淨食，以供養十方三寶、護世諸天及其隨從。為求表示最高之誠心與敬意，壇場應設三寶、諸天及其侍從之座席，設施當極盡莊嚴、清淨，法會之禮讚唱誦當力求如儀;茶水、果物、菜蔬亦當淨潔新鮮。

　　宋代慈雲遵式所集金光明懺法補助儀將儀式開合為十科(大四六·九五七下)：『一者嚴治淨室，二者清淨三業，三者香華供養，四者召請持咒，五者讚歎述意，六者稱名奉供，七者禮敬三寶，八者修行五悔，九者旋繞自歸，十者唱誦經典。』

　　近代各寺院齋天法會之儀式未必盡同，有簡有繁。有依『金光明經齋天科儀』者，有依『華山齋天科儀』者。隆重者依華山齋天科儀舉行，由正表一位、副表二位，計三大和尚主持;另延請十位引禮分別掌木魚、磬、鐺、鉿、鍾、鼓等，並隨同唱和;知客一位，負責引領齋主入壇禮拜;另有侍席三十二人、捧盤四人、行童三人、司音樂者六或八人。